轉(zhuǎn)讓:二手韓國VACOS (VTS-1600)磁控濺射真空鍍膜機(jī) 8.5成新8到10年
2022-5-12|點(diǎn)擊590次 帖子編號:121009592200652591873| 轉(zhuǎn)讓8.5成新8到10年設(shè)備名稱: VTS-1600
品牌: 韓國VACOS社
真空室: φ1600 x H1600mm (SUS304)
工件架轉(zhuǎn)速: ~ Max 2 rpm
擴(kuò)散泵: HT20B (EDWARDS社)
Rotary Pump: E2M275 (EDWARDS社)
Booster Pump: EH-2600 (EDWARDS社)
Poly Cold: 北京天地精儀
陰極/靶材(Cathode/Target): 4set
Power Supply: 5 kw, EnerPulse Power Supply (EN) 1 set
20 kw, Ener Stream Power Supply (EN)_2 set
20 kw, Pulse Gen Duo Power Supply (EN)_2 set
設(shè)備尺寸約6000mm(W)×6500mm(D)×2500mm(H)
重量約6500kg